Les MF67F furent les derniers livrés dans la série MF67, entre la fin de 1976 et le début de 1978. Par rapport aux séries précédentes, les bogies étaient sensiblement différents. Construits par MTE, ils sont monomoteurs et montés sur des suspensions pneumatiques annonçants les bogies des futurs MF77. Mis en service sur la ligne 13, ils furent mutés sur la ligne 7 puis sur la ligne 5.